P-170臺階儀是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有先進的圖案識別算法、增強的光學系統和先進的平臺，這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。

型號：P-170

更新日期：2019-07-25

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P-17臺階儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

型號：P-17

更新日期：2019-07-22

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P-7臺階儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

型號：P-7

更新日期：2019-07-22

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Alpha-Step D-600臺階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺階高度。 D-600還可以在研發和生產環境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D和3D測量。 D-600包括一個電動200毫米樣品卡盤和先進的光學系統以及加強視頻控制。

型號：D-600

更新日期：2019-07-22

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Alpha-Step D-500臺階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-500還可以在研發和生產環境中支持粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 D-500包括一個手動140毫米平臺和先進的光學系統以及加強視頻控制。

型號：D-500

更新日期：2021-11-10

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