光學輪廓儀廠家 支持3D量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統，可實現全自動測量。該系統采用ZDot™技術，可同時采集高分辨率3D數據和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學系統、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發及生產環境。

型號：Zeta-388

更新日期：2021-11-11

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Profilm3D光學輪廓儀讓3D光學輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用垂直干涉掃描（WLI）與高精度的相位干涉（PSI）技術。以*的價格實現次納米級的表面形貌研究。

型號：Profilm3D

更新日期：2021-11-11

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