Zeta-388白光共聚焦支持3D量測和成像功能，并提供整合隔離工作臺和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統，可實現全自動測量。該系統采用ZDot™技術，可同時采集高分辨率3D數據和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學系統、簡單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發及生產環境。

型號：Zeta-388

更新日期：2021-11-11

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Zeta-20白光共聚焦是一款緊湊牢固的全集成光學輪廓顯微鏡，可以提供3D量測和成像功能。該系統采用ZDot™技術，可同時采集高分辨率3D數據和True Color（真彩）無限遠焦點圖像。 Zeta-20具備Multi-Mode（多模式）光學系統、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發及生產環境。

型號：Zeta-20

更新日期：2021-11-11

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